SE/BSE¬O¹q¤l§ô±½ºË¤è¦¡¤£¦P
Signals Detected :
¡V Backscattered electrons (BSE)
¡V Secondary electrons (SE)
Resolution (Depth) :
¡V 10-100 nm (BSE)
¡V 1-10 nm (SE)
SE»Ýn°ª¯uªÅ«×, BSE§C¯uªÅ§Y¥i
Types of Image Information :
¡V Topography (SE,BSE)
¡V Composition (BSE)
¡V Crystal orientation (BSE)
¡V Electrical field (SE)
¡V Magnetic field (SE, BSE)
¡V Beam-induced current (SC)
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http://www.me.tnu.edu.tw/~me010/95NSC-SEM/index.htm
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